日立扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II

简要描述：“SEM更为紧凑” 宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

产品型号：FlexSEM 1000 II
更新时间：2023-12-09

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详细介绍

特点

FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。

尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型^*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率
凭借高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD^*2），可在低加速/低真空下观察时实现稳定画质
全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持观察时的视野搜索和样品定位

*1设置到桌面上时，请将机体与电源盒分离

*2选项

小型高性能色谱柱

尺寸虽小，高分辨率。

金颗粒沉积（SE） — **金颗粒沉积**
加速电压：20 kV
倍率：60,000倍
信号：SE
**分辨率：4 nm**

金颗粒沉积（BSE） — **金颗粒沉积**
加速电压：20 kV
倍率：50,000倍
信号：BSE
**分辨率：5 nm**

高画质

配备可优化放射电流的功能，以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，而获得噪点小且清晰的图像。

储氢合金（SE） — **储氢合金**
加速电压：5 kV
倍率：30,000倍
信号：SE、无金属涂层

Al-Ni复合材料（BSE） — **Al-Ni复合材料**
加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：BSE、无金属涂层

可用高画质和快速观察

搭载GUI和自动调节功能，让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦（AFC）、自动亮度调节（ABCC）按钮，就可以获得清晰的图像。（自动调节：与以往相比，缩短时间约13秒^*3）当然，也可以通过触屏进行操作。

*3对比日立SEM SU1510

全新定位系统“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像，定位样品，一键点击即可移动到观察部位。

在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴，并以分布图的形式显示。

可放置在桌面上的紧凑型电子显微镜

宽幅仅为45厘米，紧凑型设计，占用空间小。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外，机体和电源盒可以分离，从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。

规格

项目	内容
分辨率^*3	4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）
加速电压	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率）
低真空设置	6～100 Pa
电子枪	预对中钨灯丝电子枪
样品台	3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可观察范围：直径64mm（R联用）^*4
样品尺寸	直径80 mm（选配：直径153mm）
样品高度	40 mm
尺寸	机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm
选项	高敏感度低真空检测器（UVD2.0）能量色散型X射线检测器（EDS）
软件	Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）